ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ምርጡ የኢዲአይ ሲስተም፡ የ Ultrapure የውሃ ጥራት ማረጋገጥ

ሴሚኮንዳክተሮችን ለመሥራት የውሃ ጥራት በጣም አስፈላጊ ነው. ጥቃቅን ቆሻሻዎች እንኳን ወደ ሚስጥራዊነት ያለው ወረዳ ውስጥ እንዳይገቡ ለመከላከል በቺፕ ማምረቻ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ultrapure ውሃ በጣም ጥብቅ የንጽህና መስፈርቶችን ማለፍ አለበት። ይህ ኤሌክትሮዲዮናይዜሽን (ኢዲአይ) ሲስተሞች ጠቃሚ ናቸው. የተራቀቀ EDI ተክል የአዮን ልውውጥ ድብልቅ ይጠቀማል ቅርፊትዎች እና የኤሌክትሪክ ጅረት ሽፋኖችን ለማጽዳት ኬሚካሎችን ሳይጠቀሙ አዮኖችን ለማስወገድ እና እጅግ በጣም ንጹህ ውሃ ለመስራት። የማኑፋክቸሪንግ ሂደቶቻቸው ሁልጊዜ ከፍተኛ ጥራት ያለው እጅግ በጣም ንጹህ ውሃ እንዳላቸው ለማረጋገጥ፣ የሴሚኮንዳክተር ፋብሎች ዘመናዊ ቴክኖሎጂን መጠቀም አለባቸው። ኢዲ ስርዓትለሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች በጣም ጥሩ የሆኑት የEDI ስርዓቶች ጥቂት ዋና ዋና ጥቅሞች አሏቸው፡ በጣም ዝቅተኛ የኮንዳክቲቭ ውፅዓት ያለው ውሃ ያመነጫሉ (ብዙውን ጊዜ ከ 0.1 μS/ሴሜ ያነሰ)፣ እንደገና መፈጠር ሳያስፈልጋቸው ያለማቋረጥ ሊሰሩ ይችላሉ፣ በጣም ትንሽ ኬሚካሎችን ይጠቀማሉ፣ እና አነስተኛ እና ቀልጣፋ ናቸው። የEDI ፋብሪካ ከተሟላ የውሃ ማጣሪያ ስርዓት ጋር በትክክል ሲገናኝ ለአስፈላጊ የጽዳት ደረጃዎች፣ ለኬሚካል ዲሉሽን እና ለሌሎች ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች የሚያስፈልገውን እጅግ በጣም ንጹህ ውሃ በአስተማማኝ ሁኔታ ማምረት ይችላል። እነዚህ ስርዓቶች ቺፕስ በጣም ብዙ ጉድለቶችን እንዳያገኙ እና አነስተኛ መጠን ያላቸውን አዮኒክ ቆሻሻዎች እንኳን በማስወገድ ምርታቸውን ከፍ ለማድረግ ይረዳሉ።

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የአልትራፑር ውሃ ወሳኝ ሚና

ወደ ኢዲአይ ቴክኖሎጂ ዝርዝር ከመግባታችን በፊት፣ ለምን ሴሚኮንዳክተሮችን ለመስራት አልትራፑር ውሃ በጣም ወሳኝ እንደሆነ እንነጋገር። የተቀናጁ ወረዳዎችን እና ሌሎች ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስራት በተቻለ መጠን ንጹህ ውሃ የሚያስፈልጋቸው ብዙ ደረጃዎችን ያካትታል. አነስተኛ መጠን ያለው ብክለት እንኳን በሚሠሩት አነስተኛ ሕንፃዎች ላይ ትልቅ ችግር ሊፈጥር ይችላል።

አስፈላጊ የውሃ ጥራት ደረጃዎች

ሴሚኮንዳክተር ለማምረት በቅርበት መከታተል ያለባቸው አንዳንድ በጣም አስፈላጊ የውሃ ጥራት አመልካቾች፡-

• የመቋቋም ችሎታ፡ ብዙ ጊዜ ከ18 MΩ·ሴሜ በላይ በ25°ሴ
• ጠቅላላ ኦርጋኒክ ካርቦን (TOC)፡ ከ1 ፒፒቢ በታች
• ቅንጣቶች፡ ከ 0.1 ማይክሮን ለሚበልጡ ቅንጣቶች ከ 1 ቅንጣት/ml ያነሰ
• የሟሟ ሲሊካ: ከ 0.1 ፒቢቢ ያነሰ
• የሚሟሟ ኦክስጅን: ከ 1 ፒፒቢ ያነሰ

እነዚህን ጥብቅ መመዘኛዎች ለማሟላት ውሃ ባለ ብዙ ደረጃ የማጥራት ሂደት ውስጥ ማለፍ አለበት. ኢዲአይ የተረፈውን ions የሚያስወግድ አስፈላጊ የመጨረሻ ደረጃ ነው። የ የኤሌክትሮዳይዜሽን ስርዓት ከሞላ ጎደል ከማንኛውም ከብክለት የፀዳ ውሃን ለመስራት ከሌሎች ቴክኖሎጂዎች ጋር ይሰራል፣ ለምሳሌ ሪቨር ኦስሞሲስ፣ አልትራፋይልተሬሽን እና የአልትራቫዮሌት ህክምና።

ሴሚኮንዳክተሮችን በመሥራት ላይ ይጠቀማል

በሴሚኮንዳክተር የማምረት ሂደት ውስጥ በብዙ ክፍሎች፣ በኤዲአይ ተክሎች የተሰራ ultrapure ውሃ ጥቅም ላይ ይውላል፣ ለምሳሌ፡-

• ማሰሮውን ማጽዳት እና ማጠብ
• የፎቶ ተከላካይን ማዳበር እና ማስወገድ
• የኬሚካል ሜካኒካል እቅድ ማውጣት (ሲኤምፒ)
• እርጥብ ማሳከክ ሂደቶች
• ኬሚካሎችን ማቀላቀል እና ማደባለቅ
• መሳሪያዎችን ማቀዝቀዝ

በእነዚህ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው የውሃ ጥራት እና ወጥነት በምርት ፣ በመሳሪያው አፈፃፀም እና በአስተማማኝነት ላይ ቀጥተኛ ተፅእኖ አላቸው። ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች እያነሱ እና እየተወሳሰቡ ሲሄዱ የንፁህ ውሃ ፍላጎት ይበልጥ አስፈላጊ ይሆናል። ለዚህም ነው እንደ ኢዲአይ ያሉ የላቁ የማጥራት ቴክኖሎጂዎች ከጊዜ ወደ ጊዜ አስፈላጊ እየሆኑ ያሉት።

ለሴሚኮንዳክተር የውሃ ህክምና የኢዲአይ ቴክኖሎጂን መረዳት

ኤሌክትሮዲዮናይዜሽን የሟሟ ionዎችን ለማስወገድ የኤሌክትሮዳያሊስስ እና የ ion ልውውጥ መርሆዎችን የሚጠቀም ውሃን ለማጽዳት በጣም ጥሩ መንገድ ነው. ኢዲአይ ሁል ጊዜ ይሰራል እና ውሃን በየጊዜው ጥሩ ጥራት ያለው ያደርገዋል፣ ከቀደምት የዲዮናይዜሽን ሂደቶች በተለየ በየጊዜው በኬሚካላዊ እንደገና መወለድ ከሚያስፈልጋቸው።

EDI እንዴት እንደሚሰራ

የኢዲአይ ስርዓት ዋናው አካል በካሽን እና በአንዮኖች መካከል የሚቀያየር የሽፋን ቁልል ነው። Ion exchange resin beads በእነዚህ ሽፋኖች መካከል ያለውን ክፍተት ይሸፍናል. ውሃ በሚፈስበት ጊዜ የኤሌክትሪክ መስክ ለተደራራቢ ይሰጣል, ይህም ionዎች በሽፋኑ ላይ እንዲንቀሳቀሱ ያደርጋል. የ EDI ሂደት በጣም አስፈላጊዎቹ ክፍሎች፡-

• ionዎችን ማስወገድ፡- ተቃራኒ ክፍያዎች ያሉት ኤሌክትሮዶች በመኖ ውሃ ውስጥ የሚሟሟትን ionዎች በመሳብ በ ion ልውውጥ ሙጫዎች ማጓጓዝ ይጀምራሉ።
• የሜምብራን መለያየት፡- የሚመረጡት የ ion ልውውጥ ሽፋኖች ionዎቹ እንዲያልፍ ያደርጋሉ። ካንቴሽን ወደ ካቶድ ይንቀሳቀሳል, አኒዮኖች ደግሞ ወደ አኖድ ይንቀሳቀሳሉ.
• ትኩረትን መሰብሰብ እና ማስወገድ፡ ionዎቹ በተለያየ ክፍል ውስጥ ተሰብስበው ከስርአቱ ውስጥ እንደ ውድቅ ጅረት ይወጣሉ።
• ሬዚን እንደገና መወለድ፡- የኤሌትሪክ ጅረት የውሃ ሞለኪውሎችን ወደ ኤች+ እና ኦኤች ions ይሰብራል፣ ይህም የ ion ልውውጡ ሙጫዎች እንዳይሰበሩ ያደርጋሉ።

ይህ ቀጣይነት ያለው፣ ከኬሚካላዊ-ነጻ የመታደስ ሂደት የኢዲአይ ሲስተሞች ያለማቋረጥ ለረጅም ጊዜ ያለችግር እንዲሄዱ ያስችላቸዋል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥብቅ ፍላጎቶች ተስማሚ ነው።

ለሴሚኮንዳክተር አጠቃቀሞች የኤዲአይ ጥቅሞች

በሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች ውስጥ ultrapure water ለማምረት የኢዲአይ ቴክኖሎጂን መጠቀም በርካታ ጠቃሚ ጥቅሞች አሉት፡-

• ከፍተኛ ንፅህና ሁል ጊዜ፡ EDI ሲስተሞች ከ18 MΩ·ሴሜ በላይ የመቋቋም አቅም ያለው እና በጣም ጥቂት የተሟሟ ionዎች ያለማቋረጥ ውሃን መስራት ይችላሉ።
• ቀጣይነት ያለው ክዋኔ፡ ኢዲአይ የሚሰራው ለዳግም መወለድ ዑደቶች ከመስመር ውጭ መሄድ ሳያስፈልገው ነው፣ ይህም ከሌሎች የ ion ልውውጥ ስርዓቶች የተለየ ነው።
• ምንም ኬሚካሎች የሉም፡ የኤሌክትሮኬሚካላዊ እድሳት ቴክኒክ የአሲድ እና የካስቲክ ዳግም መወለድ ኬሚካሎችን አስፈላጊነት ያስወግዳል።
• ዝቅተኛ የስራ ማስኬጃ ወጪዎች፡- የኢዲአይ ሲስተሞች ብዙ ሃይል አይጠቀሙም እና ብዙ ኬሚካሎች አያስፈልጉም።
• አነስተኛ አሻራ፡ የEDI ሲስተሞች ሞጁል ተፈጥሮ ሴሚኮንዳክተር ተክሎች ውስጥ ቦታን በብቃት ለመጠቀም ቀላል ያደርገዋል።
• ተለዋዋጭነት፡ EDI አሁንም ተመሳሳይ መጠን እያመረተ በምግብ ውሃው የጥራት እና የፍሰት መጠን ላይ ለውጦችን መከታተል ይችላል።

እነዚህ ጥቅሞች ሴሚኮንዳክተሮችን ለመሥራት ኢዲአይ የወቅቱ የ ultrature water systems አስፈላጊ አካል ያደርጉታል። ጥብቅ የውሃ ጥራት ደረጃዎችን ለማግኘት አስተማማኝ እና ውጤታማ መንገድ ነው.

ለሴሚኮንዳክተር ፋሲሊቲዎ ምርጡን የኢዲአይ ስርዓት መምረጥ እና መተግበር

ምርጡን በሚመርጡበት ጊዜ EDI ተክል ለአንድ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካ ስርዓት, ስለ ብዙ ነገሮች ማሰብ አለብዎት. በጣም ጥሩው መልስ በእርስዎ ሂደቶች ፍላጎቶች፣ በመኖ ውሃዎ ጥራት እና በአጠቃላይ የውሃ አያያዝ ስርዓትዎ ላይ ይመሰረታል።

የ EDI ስርዓት በሚመርጡበት ጊዜ ሊታሰብባቸው የሚገቡ አስፈላጊ ነገሮች

ለሴሚኮንዳክተር አጠቃቀም የ EDI ስርዓቶችን ሲፈልጉ ስለ እነዚህ ነገሮች ያስቡ፡

• የአቅም ፍላጎቶች፡ ስርዓቱ የእርስዎን ከፍተኛ የፍሰት መጠን ፍላጎቶች ማስተናገድ የሚችል እና ወደፊት ለማደግ የሚያስችል ቦታ እንዳለው ያረጋግጡ።
• የምግብ ውሃ ጥራት፡ ውሃው በትክክል ከተሰራ የኢዲአይ ሲስተም በተሻለ ሁኔታ ይሰራል፣ ይህ ማለት ደግሞ በተቃራኒው ኦስሞሲስን መጠቀም ማለት ነው።
• የምርት ውሃ ጥራት መግለጫዎች፡ ስርዓቱ ሁል ጊዜ የአልትራፑር ውሃ ፍላጎቶችዎን ሊያሟላ ወይም ሊያልፍ ይችል እንደሆነ ያረጋግጡ።
• የመልሶ ማግኛ መጠን፡ ቆሻሻን እና የስራ ማስኬጃ ወጪዎችን ለመቀነስ ብዙ ውሃ የሚያገግሙ ስርዓቶችን ይፈልጉ።
• ጉልበት ምን ያህል በጥሩ ሁኔታ ይጠቀማል? በማስኬድ ወጪዎች ላይ ገንዘብ ለመቆጠብ፣ የተለያዩ የኢዲአይ ሞዴሎች ምን ያህል ኃይል እንደሚጠቀሙ ያወዳድሩ።
• ለመከታተል እና ለመጫን የሚያስፈልጉ መስፈርቶች፡ ምን ያህል ቦታ እንዳለህ እና ካለህ ጋር እንዴት እንደሚስማማ አስብ።
• የመቆጣጠር እና የመቆጣጠር ችሎታ፡ የላቁ የክትትል ስርዓቶች ነገሮች በጥሩ ሁኔታ እንዲሄዱ እና ችግሮች ቀደም ብለው እንደሚገኙ ለማረጋገጥ ይረዳል።
• በጥገና እና በአገልግሎት ላይ እገዛ፡ ከሽያጩ በኋላ በታማኝነት እና በድጋፍ የአምራቹን ስም ይመልከቱ።

በጠቅላላው የውኃ ማቀነባበሪያ ሥርዓት ውስጥ እንዴት እንደሚገጣጠም

የ የኢዲአይ ስርዓት በአጠቃላይ የ ultrapure ውሃ አያያዝ ሂደት ወሳኝ አካል ነው, ስለዚህ እንዴት እንደሚስማማ ማሰብ አስፈላጊ ነው. አንድ መደበኛ ሴሚኮንዳክተር የውሃ ማጣሪያ ስርዓት ሊኖረው ይችላል:

• ቅድመ-ህክምና (ክሎሪን ማስወገድ፣ ማጣራት እና ማለስለስ)
• የተገላቢጦሽ osmosis (RO)
• ኢዲአይ ማጥራት
• Ultrafiltration (UF)
• ከ UV ብርሃን ጋር መበከል
• የማጣራት የመጨረሻ ደረጃ
• ማከማቻ እና ማድረስ

የ EDI ስርዓቱ ትክክለኛው መጠን እንዲኖረው እና ከእነዚህ ሌሎች ክፍሎች ጋር በጥሩ ሁኔታ እንዲሠራ ያስፈልጋል. ስርዓቱ እንዴት እንደሚቀረፅ በትኩረት መከታተል የተሻለ፣ የበለጠ ውጤታማ እና የበለጠ አስተማማኝ እንዲሆን ይረዳል።

ቀጣይነት ያለው እንክብካቤ እና ክትትል

ለኢዲአይ ስርዓትዎ በጥሩ ሁኔታ የሚሰራ እና ለረጅም ጊዜ የሚቆይ መሆኑን ለማረጋገጥ ሙሉ የጥገና እና የክትትል አሰራር ያዘጋጁ። ይህ የሚከተሉትን ማካተት አለበት:

• በአፈፃፀም እና በመረጃ መዝገብ ላይ መደበኛ ፍተሻዎች
• በየጊዜው የሚከሰት ህክምናን ማጽዳት እና ማጽዳት
• አምራቹ እንዲሠራ በተናገረው መሠረት የፍጆታ ዕቃዎችን መለወጥ (እንደ ማጣሪያዎች)
• ለክትትል መሳሪያዎች ትክክለኛ ደረጃዎችን ማዘጋጀት
• ነገሮችን በትክክል እንዴት እንደሚጠቀሙ እና እንደሚጠግኑ ሰራተኞችን ማሰልጠን

ሴሚኮንዳክተር ሰሪዎች የላቀ የኢዲአይ ስርዓትን በጥንቃቄ በመምረጥ፣ በማዘጋጀት እና በመከታተል አስፈላጊ የሆኑ የማምረቻ ሂደቶቻቸውን ለመደገፍ ሁል ጊዜ በቂ አልትራፕረስ ውሃ እንዳላቸው ማረጋገጥ ይችላሉ።

ተደጋግሞ የሚነሱ ጥያቄዎች

1.እንዴት EDI ለሴሚኮንዳክተሮች ውሃ ለማፅዳት ከተለመደው የ ion ልውውጥ ይለያል?

ኢዲአይ በሴሚኮንዳክተሮች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው ክላሲካል ion ልውውጥ ላይ በርካታ ጥቅሞች አሉት። ኢዲአይ በየጊዜው ኬሚካሎችን እንዲታደስ ከሚፈልጉ ባህላዊ የ ion ልውውጥ ስርዓቶች በተለየ መልኩ እንደገና ለማዳበር ኬሚካሎች ሳያስፈልጋቸው ሁልጊዜ ይሰራል። ይህ ወደ ተሻለ የውሀ ጥራት፣ የእረፍት ጊዜ መቀነስ እና ኬሚካሎችን ለመያዝ እና ለማስወገድ ርካሽ ወጪዎችን ያስከትላል። የኢዲአይ ስርዓቶች ትንሽ ቦታን ይይዛሉ እና ውሃን በበለጠ ንፅህና በተከታታይ ያደርጋሉ, ይህም ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥብቅ ደረጃዎች ፍጹም ያደርጋቸዋል.

2.በሴሚኮንዳክተር ፋብሪካ ውስጥ ለኢዲአይ ስርዓት የተለመደው የጥገና ፍላጎቶች ምንድን ናቸው?

የኢዲአይ ሲስተሞች እንደሌሎች የውሃ ማጣሪያ ቴክኖሎጂዎች ብዙ ጥገና አያስፈልጋቸውም፣ ነገር ግን የተቻላቸውን ያህል ለመስራት መደበኛ እንክብካቤ ያስፈልጋቸዋል። የተለመዱ የጥገና ተግባራት አስፈላጊ የአፈፃፀም አመልካቾችን (እንደ የውሃ ጥራት ፣ የግፊት ጠብታ እና የኤሌክትሪክ ፍሰት) ፣ ኤሌክትሮዶችን እና ሽፋኖችን በመደበኛነት ማጽዳት ወይም መተካት (በተለይ በዓመት አንድ ወይም ሁለት ጊዜ) እና የቅድመ አያያዝ ስርዓቱ በትክክል መስራቱን ማረጋገጥን ያጠቃልላል። ትክክለኛው የጥገና እቅድ በስርዓቱ እና እንዴት ጥቅም ላይ እንደሚውል ይወሰናል, ነገር ግን አብዛኛዎቹ አምራቾች የመከላከያ ጥገናን እንዴት እንደሚሠሩ ሰፋ ያለ መመሪያዎችን ያካትታሉ.

3.የመኖ ውሃ ጥራት በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ የኢዲአይ ስራን እንዴት ይጎዳል?

በሴሚኮንዳክተር አፕሊኬሽኖች ውስጥ EDI በደንብ እንዲሰራ የምግብ ውሃ ጥራት በጣም አስፈላጊ ነው. ብዙ ጊዜ፣ የኢዲአይ ስርዓት ብዙ የተሟሟትን ጠጣር ለማስወገድ ቀድሞ በተገላቢጦሽ ኦስሞሲስ (RO) የታከመ የመኖ ውሃ ይፈልጋል። ለኢዲአይ፣ ምርጡ የግብአት ውሃ ከ20-40 μS/ሴሜ የሆነ የመተላለፊያ ይዘት፣ ጥንካሬው ከ 1 ፒፒኤም ያነሰ እንደ CaCO3 እና ከ 1 ፒፒኤም በታች የሆነ የሲሊካ ይዘት ያለው መሆን አለበት። ከእነዚህ ብከላዎች ውስጥ አብዛኛዎቹ ኢዲአይ ውጤታማ እንዳይሆኑ እና ሽፋኑ እንዲመዘን ወይም እንዲበከል ሊያደርግ ይችላል። በሴሚኮንዳክተር የውሃ ማጣሪያ ስርዓቶች ውስጥ ኢዲአይ በጥሩ ሁኔታ እንዲሰራ እና ለረጅም ጊዜ እንዲቆይ ለማድረግ የምግብ ውሃው በትክክል ተስተካክሎ እና ጥራቱ በየጊዜው መረጋገጥ አለበት።

ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ከፍተኛ ብቃት EDI ተክሎች | ሞሩይ

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካዎን ጥብቅ የውሃ ጥራት መስፈርቶችን የሚያሟላ አስተማማኝ እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የኢዲአይ ሲስተም ያስፈልግዎታል? ጓንግዶንግ Morui የአካባቢ ቴክኖሎጂ Co., Ltdየምንሄድበት ቦታ ነው። የእኛ ዘመናዊ ብልጫ EDI ተክሎች እጅግ በጣም አስፈላጊ ለሆነ ሴሚኮንዳክተር አጠቃቀሞች ሁል ጊዜ አንድ አይነት የሆነ አልትራፔር ውሃ እንዲያቀርቡ ተደርገዋል።

በውሃ አያያዝ ቴክኖሎጂ የዓመታት ልምድ እና የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ልዩ ፍላጎቶችን አጠቃላይ ግንዛቤ አለን። አሁን ካሉት የውሃ ማጣሪያ ስርዓቶች ጋር በትክክል የሚሰሩ ብጁ መፍትሄዎችን ማቅረብ እንችላለን። የእኛ የኢዲአይ እፅዋቶች በጥሩ ሁኔታ የሚሰሩ እና ለመስራት ቀላል መሆናቸውን ለማረጋገጥ የጨረር ሽፋን ቴክኖሎጂ፣ አነስተኛ ሃይል አጠቃቀም እና ለአጠቃቀም ቀላል የሆኑ መቆጣጠሪያዎችን ያካትታሉ።

አስፈላጊ ለሆኑ ሴሚኮንዳክተር ስራዎች በውሃዎ ጥራት ላይ ተስፋ አይቁረጡ። በኢሜል ይላኩልን። benson@guangdongmorui.com ዛሬ የEDI ስርዓታችን እንዴት ለእርስዎ መገልገያ የሚፈልጓቸውን የውሃ ፍላጎቶች ለማሟላት እና ለማቆየት እንደሚረዳዎት ለማወቅ። ጓንግዶንግ ሞሩይ በሴሚኮንዳክተሮች ውስጥ ውሃን ለማፅዳት በቴክኖሎጂ የታመነ አጋርዎ ሊሆን ይችላል።

ማጣቀሻዎች

1.ጆንሰን፣ ኤአር፣ እና ስሚዝ፣ BT (2021)። ሴሚኮንዳክተሮችን ለመሥራት የላቀ የውሃ ማጣሪያ ቴክኖሎጂዎች. 15(2)፣ 78-92 የጆርናል ኦፍ አልትራፑር የውሃ ሲስተምስ።

2.Chen, X., እና Wang, Y. (2022). ሴሚኮንዳክተር-ደረጃ ውሃ በማምረት ውስጥ ኤሌክትሮዲኢንሽን: የአሁኑ ሁኔታ እና የወደፊት እምቅ. መለያየት እና ማጥራት ቴክኖሎጂ, 288, 120560.

3.ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ማህበር. (2023) የላቀ ሴሚኮንዳክተር ለማምረት የውሃ ጥራት መስፈርቶች. ቴክኒካዊ ሪፖርት 2023-03 ከ SIA.

4.ሊ፣ ጄኤች፣ ኪም፣ SY፣ እና ፓርክ፣ JS (2021)። በሴሚኮንዳክተር ፋብሎች ውስጥ የአልትራፕዩር ውሃ ለማምረት የ ion ልውውጥ እና ኤሌክትሮዲዮራይዜሽን ንፅፅር። ማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ኢንጂነሪንግ, 242, 111585.

5.Zhang, L., እና Liu, Q. (2022). በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ከፍተኛ ንፁህ ውሃ ለማምረት የ EDI ስርዓቶችን ማሻሻል. የኢንዱስትሪ እና ኢንጂነሪንግ ኬሚስትሪ ምርምር፣ 61(14)፣ 5132–5143

6.የዓለም ሴሚኮንዳክተር ምክር ቤት. (2023) በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ፋብሪካዎች ውስጥ ውሃን ለመቆጠብ እና ለማጽዳት በጣም የተሻሉ መንገዶች. የ2023 የWSC የአካባቢ ሪፖርት።